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度高溫?zé)崤_(tái) 紅外發(fā)射率測試 硅片退火爐

  • 鄭州

    產(chǎn)地
  • 河南鄭州市

    所在地區(qū)
  • 2025-05-14 11:11

    更新時(shí)間
類型
生產(chǎn)廠家
聯(lián)系人
裴勇
傳真
電話
手機(jī)
15136134901

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產(chǎn)品詳細(xì)

1000度高溫?zé)崤_(tái) 紅外發(fā)射率測試 硅片退火爐技術(shù)參數(shù);

真空腔體

型號(hào):

KT-Z10001R

類型

高溫加熱型 1000℃(高于 600℃需真空環(huán)境

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

腔體重量

2.5KG

腔體內(nèi)尺寸

147mmX72mmX22mm

腔體外尺寸

170mmX95mmX37mm

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體真空測量口

KF16 法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

高溫絕緣陶瓷

樣品臺(tái)尺寸

26x26mm

樣品臺(tái)加熱方式

電阻加熱

樣品臺(tái)-視窗 距離

18mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

樣品臺(tái)測溫傳感器

S 型熱電偶

樣品臺(tái)溫度

室溫到1000℃

樣品臺(tái)測溫誤差

±0.1

樣品臺(tái)升溫速率

高溫 100℃/min 最大值

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn) PID 溫控 +自整定 30 段編程控溫

溫度分辨率

1℃

溫控精度

±1

溫度信號(hào)輸入類型

S (可選 PT100 熱電阻 K B 型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出  實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

5.6KG

水冷機(jī)

冷卻方式

壓縮制冷

冷卻溫度

室溫到 5℃

冷卻水流量

10L/min

冷卻介質(zhì)

純水

冷卻水管接口

6mm 快插



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